ГОСТ 8.591-2009 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки

Название англ.: State system for ensuring the uniformity of measurements. Nanometer range relief measure with trapezoidal profile of elements. Verification method

Содержание госта: Настоящий стандарт распространяется на рельефные меры нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов, линейные размеры и материал для изготовления которых соответствуют требованиям ГОСТ 8.592. Рельефные меры применяют для измерения линейных размеров в диапазоне от 10 (в степени минус девять) до 10 (в степени минус шесть) м.
Настоящий стандарт устанавливает методику первичной и периодических поверок рельефных мер