ГОСТ Р 8.635-2007 Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы сканирующие зондовые атомно-силовые. Методика калибровки

Название англ.: State system for ensuring the unifоrmity of measuremеnts. Atomic-forсe scanning probe microscopes. Method for calibration

Содержание госта: Настоящий стандарт распространяется на сканирующие зондовые атомно-силовые микроскопы, применяемые для измерений линейных размеров в диапазоне от 10 в ст. минус 9 до 10 в ст. минус 6 м, и устанавливает методику их калибровки с использованием рельефных мер по ГОСТ Р 8.628 и ГОСТ Р 8.629