ГОСТ Р 8.640-2008 Государственная система обеспечения единства измерений. Радиометры ультрафиолетового излучения для контроля технологических процессов в фотолитографии. Методика поверки
Название англ.: State sysem for ensuring the uniformity of measurements. Radiometers of ultraviolet radiation measurements for photolithography technological processes testing. Verification methodsСодержание госта: Настоящий стандарт распространяется на средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения - радиометры ультрафиолетового излучения, используемые в фотолитографии, и устанавливает методику их первичной и периодической поверок